美國路陽(yáng) 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G

wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈LUYOR-3325G系列是一款黃綠光表面檢查燈，檢測燈的原理利用適合的LED燈源，通過(guò)led發(fā)光，經(jīng)過(guò)光學(xué)透鏡聚焦的光源，照在工件表面折射出光路，使得操作員肉眼可識別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn)，取代傳統的照明設備和光學(xué)系統機臺，直接通過(guò)照明光線(xiàn)和肉眼，觀(guān)測出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵，極大的節省了一般工廠(chǎng)的采購成本。 LUYOR-3325G檢查燈采用人眼最敏感580NM之間波長(cháng)光，來(lái)做zui簡(jiǎn)單與明確的判別，可檢查到1um以下的刮痕或微粒子，幾乎可檢測出所有塵埃，大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬(wàn)小時(shí)以上。光源強度可達30萬(wàn)LX，最小可以檢測1μ的表面臟污，比傳統的檢查燈，效用增強10倍.LUYOR-3325G可根據使用場(chǎng)景，使用便攜手持式或桌面式（安裝再臺式支架上）。

LUYOR-3325G為交流電源供電，可以手持式操作，也可以臺式操作。

LUYOR-3325GD為鋰電池供電，可以手持式操作，也可以臺式操作。

晶圓檢測：用于晶圓測試的黃綠光LED檢測燈,LUYOR-3325G專(zhuān)為晶圓質(zhì)量保證和測試而設計的光學(xué)晶圓檢測設備。

使用美國路陽(yáng) 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈進(jìn)行晶圓檢測：

• 使用無(wú)紫外線(xiàn)輻射的黃綠光燈進(jìn)行晶圓檢測

• 更換用于晶圓檢測的紫外燈

• 在不使用汞蒸氣燈的情況下測試晶圓

• 設計為濾波綠光燈或濾光黃光燈，用于晶圓檢測

• 使用無(wú)紫外線(xiàn)和無(wú)汞的SECU-CHEK晶圓測試燈進(jìn)行晶圓表面檢測

為什么使用LUYOR-3325G半導體檢測燈進(jìn)行晶圓表面檢測？

• 晶圓生產(chǎn)所需的高工藝可靠性

• 需要經(jīng)濟高效且無(wú)gu障的測試操作

• 晶圓測試對于晶圓制備和芯片生產(chǎn)的進(jìn)一步成本密集型步驟至關(guān)重要

• 根據行業(yè)標準要求的專(zhuān)業(yè)解決方案

晶圓生產(chǎn)中存在哪些誤差，LUYOR-3325G半導體檢測燈的識別能力如何？

• 使用過(guò)濾后的黃光燈可以很好地檢測到晶圓的缺陷

• 通過(guò)晶圓測試檢測夾雜物

• 通過(guò)目視晶圓測試檢測污染物

• 用黃綠光觀(guān)察生長(cháng)障礙

• 在光學(xué)晶圓測試期間識別面紗

• 使用LUYOR晶圓檢測燈分析條紋

• 與用于晶圓測試的紫外燈和汞燈相比，可以更好地檢測微觀(guān)結構

• 通過(guò)晶圓檢測檢測生長(cháng)孔

• 檢查黃綠色燈的高對比度邊緣變平

• 在光學(xué)晶圓檢測中可以發(fā)現邊緣干擾

• 使用晶圓上的質(zhì)量檢測燈檢測結構變化

• 使用紫外黃光和綠光燈檢測晶圓生產(chǎn)中的夾雜物

• 用過(guò)濾后的黃光燈識別不均勻